一、設備簡介：

　　1、采用準零剛度隔振技術并配合精密步進電機調節(jié)，垂向固有頻率可低至0.4Hz;

　　2、垂向剛度可調節(jié)設計，滿足不同隔振及穩(wěn)定性要求;

　　3、多自由度隔振能力，滿足不同方向隔振需求;

　　4、自主開發(fā)的UI軟件，可根據客戶設備及現場安裝條件進行調試，提供專業(yè)解決方案。

　　二、應用領域：

　　掃描電子顯微鏡、微硬度計、表面粗糙度計、3D輪廓測量儀、 光學隔振平臺、透射電鏡、掃描探針顯微鏡以及其他超精密測量儀器及光學設備。

　　三、控制界面：